我們提供專業服務高科技應用之準分子雷射系統維修

我司提供服務於準分子雷射系統維修, 整新, 移機服務及客戶需求之雷射技術. 在台灣本地建立無塵室研發實驗室及維修廠. 備有準分子雷射系統零件安全庫存備料.

在市埸需求下, 我司研發團隊率先開發客戶所需之零組件, 經我司多年研發經驗於各式材料, 加工技術, 覆合材料等, 整合技術, 及導入最新技術應用於準分子雷射系統, 以供市場雷射維護之需求


技術服務項目: 
  • 準分子雷射系統保養及維修服務
  • 準分子雷射系統重整翻新改造
  • 準分子雷射系統系統移機
  • 準分子雷射系統設備零件耗材銷售
  • 客製零組件開發專案

準分子雷射零組件維修品項:
  • Excimer Laser Discharge Chambers
  • Output Coupler Lens (OC Lens)
  • Laser beam shutter and PCB
  • High Voltage Power Supply (HVPS)
  • Gas module
  • Coolant module
  • Blower motor controller
  • Cryo pump

其他各式組件:
  • Ultra 10 workstation
  • Optics, Lens A / B / C
  • ASML, NIKON, CANON parts improvement