何謂準分子雷射

準分子雷射(英文:Excimer laser)是一種紫外氣態雷射,處於激發態惰性氣體和另一種氣體(惰性氣體或鹵素)結合的混合氣體形成的分子,向其基態躍遷時發射所產生的雷射,稱為準分子雷射。準分子雷射屬於低能量雷射,無熱效應,是方向性強、波長純度高、輸出功率大的脈衝雷射光子能量波長範圍為157-353奈米脈衝時間為幾十奈秒,屬於紫外光。最常見的波長有157 nm、193 nm、248 nm、308 nm、351-353 nm。

LASER: 英文全名

Light Amplification By Stimulated Emission Of Radiation

Excimer Laser: EXCIted DiMER
全名為電子激發分子氣體雷射 : Electronically-Excited Molecular Gas Laser

不同雷射波長使用之氣體:
308nm 波長: XeCl (HCL + Xe)
248nm 波長: KrF (KrNeF2 + KrNe)
193nm 波長: ArF (ArNeF2 + ArNe)

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準分子是一種半衰期非常短暫的分子狀態,由同種原子或者異種原子組合而成。其中一種原子的價電子層必須是全滿的(比如稀有氣體)。如果兩種原子都處於基態,它們是不能形成化學鍵的。但如果價電子全滿的那個原子處於激發態,它們之間就能夠暫時形成化學鍵。儘管這種化學鍵的壽命往往非常短,只在奈秒的量級。準分子可以通過自發輻射受激輻射,釋放出光子回到基態,基態的分子更加不穩定,經過幾個皮秒的時間,衰變成兩個未成鍵的原子。


基本結構: