產品
  • 金屬晶舟盒
  • 鐵氟龍晶舟盒
  • 石墨晶舟盒
  • 石英晶舟 / 石英長舟

產品屬性
  • Semi Standard Compliance
  •  2", 4", 6", 8", 12" Cassette
  • Customized specification available

應用領域
  • 適用製程: 高溫, 乾蝕刻, 溼制程, 可進酸鹼蝕刻槽, 薄膜制程
  • 半導體晶片、砷化鎵晶片、太陽能晶片、紅藍寶石晶片