 產品
- 吸筆筆頭材質: PEEK + CF Tip Series, Vespel Tip Series
- 攜帶式真空吸筆
- 吸筆真空量測計
- 迷你吸筆真空量測計
- 真空吸筆管
- 真空吸筆快速接頭
- 吸筆座
- 高流量高吸力值真空汞
產品屬性 - 適用於2吋, 4吋, 6吋, 8吋, 12吋晶片
- 共用型: 2-6吋, 6-8吋
- 專用型: 12吋晶片 大晶片專用
- 可選項: 導靜電防護材質，耐高溫製程產品，可更換筆頭
- 各筆頭，與筆身皆可共用
- 另有客製化筆頭: 如可彎角吸筆頭, 客製特規吸筆真空道筆頭
應用領域
- 主要用途：晶片之拿取輔助工具
- 適用領域: 半導體晶片、砷化鎵晶片、太陽能晶片、紅藍寶石晶片、玻璃基板、各種平面晶片基板
- 適用領域: 全潔淨制程, CMP, Etching, Lithography(Photo)
產品優勢- 提升制程良率：晶片之拿取輔助工具, 避免人為取片之污染風險
- 提升制程良率：避免人為取片時產生接觸點面異常蝕刻
- 另開發有乾溼制程多用途可攜式吸筆組, CMP 製程部門專用
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