產品
  • 吸筆筆頭材質: PEEK + CF Tip Series, Vespel Tip Series
  • 攜帶式真空吸筆
  • 吸筆真空量測計
  • 迷你吸筆真空量測計
  • 真空吸筆管
  • 真空吸筆快速接頭 
  • 吸筆座
  • 高流量高吸力值真空汞

產品屬性
  • 適用於2吋, 4吋, 6吋, 8吋, 12吋晶片
  • 共用型: 2-6吋, 6-8吋
  • 專用型: 12吋晶片 大晶片專用
  • 可選項: 導靜電防護材質,耐高溫製程產品,可更換筆頭
  • 各筆頭與筆身皆可共用
  • 另有客製化筆頭: 如可彎角吸筆頭, 客製特規吸筆真空道筆頭 

應用領域
  • 主要用途:晶片之拿取輔助工具
  • 適用領域: 半導體晶片、砷化鎵晶片、太陽能晶片、紅藍寶石晶片、玻璃基板、各種平面晶片基板
  • 適用領域: 全潔淨制程, CMP, Etching, Lithography(Photo)

產品優勢
  • 提升制程良率:晶片之拿取輔助工具, 避免人為取片之污染風險
  • 提升制程良率:避免人為取片時產生接觸點面異常蝕刻
  • 另開發有乾溼制程多用途可攜式吸筆組, CMP 製程部門專用