準分子雷射氣體
我司以進口高純度稀有氣體:氪,氖和氙氣, 並提供高純度準分子雷射混合氣體, 滿足客戶需求,高純度特殊氣體主要用於準分子雷射氣體氣體產品
  • 半導體製造中的微影製程。應用於準分子雷射設備主要品牌 CYMER, Gigaphoton, COHERENT, Lambda Physik.
  • LED光電及液晶面板顯示器製程。應用領域於低溫多晶矽與AMOLED, AMEPD製造. ELA雷射回火製程, Lift Off剝離製程於新世代可撓折顯示器製造. 包含超薄玻璃基板Durable Display, Bendable Display 及塑膠材基板 Flexible Display, Disposable Display 以及 Transparent-Flexible Display 等多項新科技應用.
  • 雷射元素分析光譜儀設備。應用設備於同位素分離、光化學、醫學、生物學、微電子工業
  • 雷射鑽孔及切割設備。
  • 準分子雷射治療近視眼, 視力矯正手術及皮膚治療之設備運用。
Excimer Laser Gases 高純度準分子雷射氣體

準分子雷射氣體氣體純度
F2/Ar/Ne
氟氬氖
氟氣:99.1%
氬氣:99.9995%
氖氣:99.999%
F2/Kr/Ne
氟氪氖
氟氣:99.1%
氪氣:99.999%
氖氣:99.999%
Xe/Ar/Ne
氙氬氖
氙氣:99.999%
氬氣:99.9995%
氖氣:99.999%
Kr/Ne
氪氖
氪氣:99.999%
氖氣:99.999%
   Ar/Ne
   氬氖
   氬氣:99.999%
   氖氣:99.999%
Ne: 5N, 6N, 7N
氖氣
氖氣:99.999%~
99.99999%
   Xe: 5N, 6N, 7N
   氙氣
   氙氣:99.999%~
   99.99999%
Hcl/H2/Ne
氯化氫氖
氯化氫:99.999%
氫氣:99.999%
氖氣:99.999%
   H2/Ne
   氫氖
   氫氣: 100ppm
   氖氣:99.999%