準分子雷射氣體
我司以進口高純度稀有氣體:氪,氖和氙氣, 並提供高純度準分子雷射混合氣體, 滿足客戶需求,高純度特殊氣體主要用於準分子雷射氣體氣體產品
  • 半導體製造中的微影製程。應用於準分子雷射設備主要品牌 CYMER, Gigaphoton, COHERENT, Lambda Physik.
  • LED光電及液晶面板顯示器製程。應用領域於低溫多晶矽與AMOLED, AMEPD製造. ELA雷射回火製程, Lift Off剝離製程於新世代可撓折顯示器製造. 包含超薄玻璃基板Durable Display, Bendable Display 及塑膠材基板 Flexible Display, Disposable Display 以及 Transparent-Flexible Display 等多項新科技應用.
  • 雷射元素分析光譜儀設備。應用設備於同位素分離、光化學、醫學、生物學、微電子工業
  • 雷射鑽孔及切割設備。
  • 準分子雷射治療近視眼, 視力矯正手術及皮膚治療之設備運用。
Excimer Laser Gases 高純度準分子雷射氣體
 # 準分子雷射氣體 GASPURITY
 1 氟氬氖F2/Ar/NeFluorine:99.1%
Argon:99.9995%
Neon:99.999%
 2 氟氪氖F2/Kr/NeFluorine:99.1%
Krypton:99.999%
Neon:99.999%
 3 氙氬氖Xe/Ar/NeXenon:99.999%
Argon:99.9995%
Neon:99.999%
 4 氪氖Kr/NeKrypton:99.999%
Neon:99.999%
 5 高純度氖氣 5N, 6NNeNeon:99.999%
Neon:99.9999%
 6 氯化氫+氫氖Hcl/H2/NeHcl:99.999%
H2:99.999%
Neon:99.999%