準分子雷射應用

準分子雷射(Excimer Laser)加工應用已相常廣泛也很成熟. 屬於氣體雷射, 然而準分子雷射在特殊加工應用有很多優勢, 可在維護成本上則不易節省, 我司開發Excimer Laser repair雷射源維修整新技術, 協助客戶在使用上的成本得以節省, 也引進日本準分子雷射剝離系統(Excimer Laser Lift-off), 準分子雷射氣體, 準分子光學鏡片
在相關零件及耗材供應市埸, 與維修服務於JPSA LLO系統, 及ELA系統等


應用領域:
  • 半導體領域於黃光區曝光製程雷射晶圓清洗、微結構加工等
  • 面板顯示器領域:ELA(Excimer Laser Annealing) 準分子雷射回火製程, 可撓折材料LLO(Laser Lift-off)
  • LED:準分子雷射剝離(Excimer Laser Lift-off)
  • 醫學應用:視力矯正手術。
  • 汽車工業:金屬表面處理
  • 其他:清潔, 鑽孔等

其使用波長分類是屬於紫外光(UV)的氣體雷射,依使用氣體不同有不同的波長,
常見的主要為XeCl(308nm),KrF(248nm)與ArF(193nm)等。


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銓宸科技有限公司譯

ELA Excimer Laser Annealing window, Sealing window:

準分子雷射製程
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Chang Ricky,
2020年5月4日 上午7:59