自動化晶圓傳送設備

產品屬性

• 依半導體 Semi Standard 規範

• 2 ~ 12 Cassette Stage (可客制選項)

• 讀刻號機 (晶面 & 晶背)

• 操作簡易及維護簡易

應用領域

• 半導體晶片、砷化鎵晶片、太陽能晶片、紅藍寶石晶片