準分子雷射維修





我們提供專業服務高科技應用之準分子雷射系統維修

雷射波長308nm, 248nm, 193nm之準分子雷射系統維修, 整新, 移機, 教育訓練服務及客戶需求之雷射技術. 在台灣本地建立無塵室研發實驗室及維修廠. 備有準分子雷射系統零件庫存備料.

在市埸需求下, 我司研發團隊率先開發客戶所需之零組件, 經我司多年研發經驗於各式材料, 加工技術, 覆合材料等, 整合技術, 及導入最新技術應用於準分子雷射系統, 以供市場雷射維護之需求

技術服務項目:

  • 準分子雷射系統保養及維修服務

  • 準分子雷射系統重整翻新改造

  • 準分子雷射系統系統移機

  • 準分子雷射系統設備零件耗材銷售, 雷射鏡片與準分子雷射氣體

  • 客製零組件開發專案, 系統整合

準分子雷射零組件維修品項:

  • Excimer Laser Discharge Chambers (LDU)

  • Output Coupler Lens (OC Lens), Sapphire windows, Annnealing window and Sealing window.

  • Laser beam shutter and PCB

  • Laser beam dump

  • High Voltage Power Supply Repair (TDK Lambda LC1202L)

  • Gas module

  • Trigger Board Repair

  • Cryopump / Gas Purify Unit (GP) Refurbish and Repair

  • Hand-held Terminal (HHT) / Keba KeTop C50

  • Used parts for Sale

其他各式組件:

  • Ultra 10 workstation

  • Optics, Lens A / B / C

  • ASML, NIKON, CANON parts improvement