晶圓傳送系統

客製可攜式晶圓吸筆組

乾溼環境兩用

• 真空汞: > 4 L/min

• 吸筆頭: 客製角度 0-45度

• 單機作業真空吸筆組

• 選購: 可充放電池模組

• 選購: 氣水分離器

• 選購: 整合微型真空計

自動化晶圓傳送設備

• 晶圓分類機

• 讀刻號機

• 晶圓傳送機

• 晶圓平邊器

• 晶圓找缺角器

• 挑片機

真空吸筆

• 攜帶式真空吸筆

• 吸筆真空量測計

• 真空吸筆管

• 真空吸筆快速接頭

• 吸筆座

晶圓盒

• 金屬晶舟盒

• 鐵氟龍晶舟盒

• 石墨晶舟盒

• 石英晶舟 / 石英長舟