何謂準分子雷射

準分子是一種半衰期非常短暫的分子狀態，由同種原子或者異種原子組合而成。其中一種原子的價電子層必須是全滿的（比如稀有氣體）。如果兩種原子都處於基態，它們是不能形成化學鍵的。但如果價電子全滿的那個原子處於激發態，它們之間就能夠暫時形成化學鍵。儘管這種化學鍵的壽命往往非常短，只在奈秒的量級。準分子可以通過自發輻射或受激輻射，釋放出光子回到基態，基態的分子更加不穩定，經過幾個皮秒的時間，衰變成兩個未成鍵的原子。

基本結構:

準分子雷射（英文：Excimer laser）是一種紫外氣態雷射，處於激發態的惰性氣體和另一種氣體（惰性氣體或鹵素）結合的混合氣體形成的分子，向其基態躍遷時發射所產生的雷射，稱為準分子雷射。準分子雷射屬於低能量雷射，無熱效應，是方向性強、波長純度高、輸出功率大的脈衝雷射，光子能量波長範圍為157－353奈米，脈衝時間為幾十奈秒，屬於紫外光。最常見的波長有157 nm、193 nm、248 nm、308 nm、351-353 nm。